CMASS004TU ヘリウムコリオリ質量流量計

この流量計の主な用途には、低圧ヘリウムの微小流量の正確な制御またはモニタリングが必要な産業および実験室の設定が含まれます。{0}{1}

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説明

CMASS004TU ヘリウムコリオリ質量流量計

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product-322-281

この流量計の主な用途には、低圧ヘリウムの微小流量の正確な制御またはモニタリングが必要な産業および実験室の設定が含まれます。{0}{1}

1. 半導体製造
ウェハ処理中、ヘリウムは冷却剤、キャリアガス、または保護ガスとして機能し、プロセスチャンバーに正確に導入する必要があります。流量制御の精度は製品の歩留まりに直接影響します。

2. 光ファイバーの線引き
ファイバーの線引きプロセスでは、圧力を維持して安定した流れを確保するためにファイバーチューブにヘリウムが注入されるため、非常に正確で安定した流れの制御が必要です。

3. 原子炉冷却材の監視
特定の反応器設計では、ヘリウムが冷却回路の一部として機能し、微小流量の監視が安全のために重要です。-

4. リーク検出と気密性テスト
高精度の気密性テストのためのガス供給として、テストデバイスに注入されるヘリウム流量を正確に測定することが不可欠です。{0}

5. 臨床研究
高圧ガス反応、材料研究、および同様の用途を含む実験では、反応性ガスの注入を正確に制御する必要があります。{0}

6. 航空宇宙
燃料電池ガス供給システムまたはその他の必要なサブシステムで使用されます。

モデル	A	B	F	C	D	d	M
CMASS003	210	325	95	156.50	54	Φ65	NPT1/4"めねじ
CMASS004	210	325	95	156.50	54	Φ65	NPT1/4"めねじ
CMASS008	210	325	95	156.50	54	Φ65	HG/T 20592 DN15 PN40 フランジ
CMASS015	210	348	95	180	54	Φ65	HG/T 20592 DN15 PN40 フランジ

製品の主な利点

コリオリの原理とガス測定の特有の特性を組み合わせると、その利点は特に際立っています。

1. ガス質量流量の直接測定

これは、熱流量計や渦流量計に比べて決定的な利点です。体積ではなく、通過するガスの質量 (g/s または kg/h) を直接測定します。ヘリウムのような圧縮性の高いガスの場合、温度と圧力の変化により体積が大きく変動します。質量流量は一定に保たれ、直接測定により複雑な温度と圧力の補正が不要になり、誤差の原因が根本的に排除され、正確で信頼性の高い結果が保証されます。

2。高圧への適応性-

3.0 MPa の動作圧力は、多くの産業用ガス用途に不可欠です。流量計はこの圧力定格を満たすように設計されており、パイプラインに直接取り付けることができます。

4. 高い精度と再現性

0.5% の精度で、特にマイクロフローアプリケーションのガス測定において非常に高いレベルのパフォーマンスを実現し、プロセス制御に信頼性の高いデータを提供します。-

5. 安全性-重視の設計

防爆認証-により、可燃性または爆発性ガスが存在する可能性のある危険な環境での安全な操作が保証されます。 IP67 保護等級により、粉塵や噴流水に対する耐性が得られ、過酷な産業条件に適しています。

モデルと直径

モデル	呼び径		中温	最大WP	最大。流量-
モデル	インチ	mm	中温	最大WP	kg/分	ポンド/分
CMASS003	1/8"	DN03	-50 度 -+150 度	10MPa以下	3	6.61
CMASS004	1/6"	DN04	-50 度 -+150 度	10MPa以下	5	11
CMASS008	1/4"	DN08	-50 度 -+150 度	10MPa以下	20	44
CMASS015	1/2"	DN15	-50 度 -+150 度	10MPa以下	60	132

特性	説明
認証: 送信機とセンサーのアセンブリ	CCS認証、CPA、防爆証明書(ex)
電源	220VAC/24VDC 自己適応-
出力信号	Hart、4 ～ 20mA 電流ループアクティブ、Modbus RTU/RS-485、パルスアクティブ
表示;操作	3ラインバックライト。タッチキーコントロール
保護等級	IP66、IP67
ハウジング材質	304 ステンレス鋼、ZL401 (送信機)
電気接続	1/2NPT、M20*1.5
測定管材質;接液部表面仕上げ	316L (デフォルト)、チタン/Ha C 合金/タンタル (オプション);研磨可能。
プロセス接続	ネジ、フランジ、サニタリー高速インターフェース-
正確さ	±0.1%,±0.15%, ±0.2%, ±0.5 %, ±1.0%
送信機ソフトウェア	CLS100 (デフォルト)、オプションの CLS200、CLS300
>操作言語表示	中国語、英語、ロシア語
>>その他の認証	防爆証明書、SIL、CCS、3-A、EAC